Đạo Phật được truyền vào Việt Nam từ hai nguồn là Ấn độ và Trung quốc. Phật giáo Đại thừa theo chân người Trung quốc và cả người Ấn Độ vào miền Bắc Việt nam, trong khi Phật giáo Nguyên thủy truyền qua các nước Đông Nam Á vào lãnh thổ của Champa, Phù Nam lúc đó. Trung tâm Phật giáo sớm nhất ở Việt nam lúc đó mà còn để lại dấu tích hiện nay là vùng Luy Lâu (Thuận Thành, tỉnh Bắc Ninh), trong đó có chùa Dâu được xây dựng vào khoảng năm 187[10].

Khi Tùy Văn Đế (tức Tùy Cao Tổ) sáng lập nhà Tùy muốn ban phát xá lợi cho khắp các châu xứ để dựng bảo tháp thờ xá lợi, hoằng dương Phật pháp, trong đó bao gồm cả Giao Châu (tức miền Bắc Việt Nam). Đây là một phần trong chính sách phục hưng Phật giáo của người sáng lập vương triều nhà Tùy. Chính sách có ý đồ sử dụng Phật giáo như một công cụ để thu thập nhân tâm, tái ổn định tình hình chính trị, xã hội Trung Quốc sau một thời kỳ biến động kéo dài. Đây cũng là một dịp để nhà Tùy xác lập cương giới, khẳng định lại quyền thống trị đối với những phần lãnh thổ đã chinh phục trực tiếp hoặc kế thừa một cách gián tiếp từ các vương triều đi trước[11]. Tùy Văn Đế nói: "... chọn những sa môn danh đức, đến các xứ của châu ấy (Giao Châu) để dạy dỗ, hầu khiến cho tất cả đều giác ngộ". Pháp sư Đàm Thiên trả lời Tùy Cao Tổ như sau:

Như vậy sư Đàm Thiên đã nói rằng Phật giáo truyền vào Việt Nam trực tiếp từ Ấn Độ đã từ lâu, trước khi nhà Tùy thành lập, có nhiều thiền sư uyên thâm và chùa tháp quy mô nên không cần phải đợi sư từ Trung Quốc sang "dạy dỗ" và nếu vua Tùy muốn phân phát xá lợi thì nên phát cho cả Giao Châu vì nơi ấy Phật giáo đã phát triển. Khi Tùy Văn Đế sai sứ đem các hòm xá lị đến Việt nam để xây Tháp, nhà sư Pháp Hiền đã chia cho chùa Dâu, cùng các chùa khác trong nước để xây Tháp trong khoảng năm 601 – 604. Điều này được minh chứng trong văn bia tại chùa Dâu nói về việc xây Tháp Hòa Phong trước đây: “Nước Việt ta thời vua Tùy Cao Đế dốc tâm nơi cửa Phật, sùng mộ người áo nâu, khiến sứ giả đem hòm xá lị ủy cho lệnh sử họ Lưu kén đất Giao Châu xây cốt. Thời đó có đại sư Pháp Hiền nói rằng đây thực là chốn đại danh lam, bèn xây tháp ở nơi trong phụng thờ một hòm xá lị trấn truyền mãi mãi…”. Việc vua Tùy phát xá lợi này được củng cố với việc tìm thấy Bia "Xá Lợi Tháp Minh" (niên đại 601 - Bảo vật quốc gia số 7, đợt 2) năm 2012, chứng minh rằng xá lợi đã được phát và thờ tự tại một bảo tháp ở vùng Luy Lâu.

Nguyên văn chữ "chùa (hơn 20 ngôi)" trong lời sư Đàm Thiên được Thiền uyển tập anh ghi là bảo sát (宝 刹)[13] thường dùng chỉ ngôi chùa[14]. Tuy nhiên chữ sát lại có nghĩa gốc là tháp hay cột kinh, chính là hình dạng một ngôi chùa thuở sơ khai[15]. Qua đó có thể thấy kiến trúc Tháp có lẽ đã phổ biến và đóng vai trò quan trọng trong việc thể hiện đặc trưng kiến trúc chùa tại Việt nam từ thời kì đầu.

Tuy nhiên, chùa tháp Phật ở Việt Nam thời trước Tùy - Đường hiện nay không còn dấu vết gì. Đến cuối thời nhà Tùy (581-618), Phật giáo đã rất phát triển và có nhiều nhà sư đến Việt Nam để truyền bá đạo Phật. Giai đoạn này nhiều chùa tháp được xây ở Việt Nam. Các nhà khảo cổ đã tìm thấy dấu vết của một ngôi tháp là Tháp Nhạn (Nghệ An) được cho là xây ở thời Tùy Đường. Tháp này xây bằng gạch, đã bị đổ, chỉ còn lại phần chân tháp hình gần vuông 9,6m x 9m, tìm thấy nhiều viên gạch, đặc biệt nhất là có viên gạch có phù điêu ba vị Phật ngồi trên tòa sen, trên đầu có vòng hào quang, tay đặt theo thế ấn thiền định. Các nhà khảo cổ tìm thấy một chiếc hộp nhiều lớp được cho là đựng xá lị (Bảo vật quốc gia số 5, đợt 6). Sự tồn tại của một tháp chứa xá lị ở cách Hà Nội 300 km cho thấy kiến trúc tháp đã rất phát triển ở giai đoạn này. Văn tự và dấu tích khảo cổ thời Bắc thuộc không còn nhiều nên sự phát triển về chúa tháp giai đoạn này gần như không thể khảo cứu được.[7]

Đến thời Đinh thì Phật giáo phát triển rực rỡ, trong khu vực kinh đô Hoa Lư có nhiều ngôi chùa lớn và nổi tiếng như chùa Bà Ngô, chùa Đìa, chùa Am, chùa Tháp, chùa Bàn Long, chùa Thiên Tôn, chùa Hoa Sơn (xây vào triều Đinh); chùa Ngần, chùa Nhất Trụ (xây vào triều Tiền Lê). Trong đó có tháp Báo Thiên được xây dựng gần sông Hoàng Long. Ngày nay, ngôi chùa tháp cổ xưa đó chỉ còn vết tích nền chùa cạnh sông Hoàng Long, với nhiều tảng đá chân cột, trong đó có những viên hình vuông cạnh hơn 1 m và vòng tròn ở giữa có đường kính từ 0,5 m đến 0,68 m[16].